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Q. ALD h2o 사용시 압력그래프 문의

ddizy1999

ALD 공정 시, 질소를 지속적으로 주입 배출하며 진행할 때요. 그 상황에서, h2o를 사용해 ALD를 하려고 하면, h2o주입 이후 중단되는 시점(각 사이클 마지막)에만 압력그래프가 다시 질소 주입으로 인한 일정 압력수준으로 도달해야되잖아요.(압력그래프가 사이클 시에는 치솟다가, 끝나면 떨어져서 다시 원래 압력을 유지하잖아요.) 그런데, h2o만 신기하게 사이클 종료시점에 아주 잠시동안 기존 질소만 주입할때의 일정 압력보다 약간 더 떨어졌다가 다시 일정해지는 구간에 도달합니다. 왜그런지 아시는 분이나, 실제 현업에서 사용하시는 분들 중에 이유를 알 수 있을까요? 다른건 안그러는데 h2o만 그래서요. 제 생각에는 설비문제보다 h2o가 가진 특별한 이유인것같아서 전문가님들께 다양한 측면에서 의견을 듣고싶어서 여쭤봅니다. ㅠㅠ


2025.09.26

답변 1

  • 프로답변러YTN
    코부사장 ∙ 채택률 86%

    멘티님 ALD 공정에서 h2o 주입 후 압력 그래프가 잠시 더 낮아졌다가 회복되는 이유는 h2o의 특유한 흡착 및 탈착 동역성 때문입니다 h2o 주입 시 표면에서 급격히 흡착·반응 후 퍼지 시 추가적인 h2o 잔류가 순간적으로 진공 펌프에 더 많이 제거되어 일시적 압력 강하가 나타납니다 이는 h2o 분자가 표면 또는 챔버 내에 일시적으로 더 많이 응축(또는 탈착)되는 물리화학적 특성과 관계가 큽니다 실제 설비 문제가 아니라 h2o의 반응 특성에서 유래한 정상 현상으로 보셔도 무방합니다 여러 논문 및 실무에서도 h2o만의 과도 압력변동이 단기적으로 나타남이 보고되어 있습니다 채택부탁드리며 파이팅입니다!

    2025.09.26


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