직무 · 모든 회사 / 모든 직무
Q. ALD h2o 사용시 압력그래프 문의
ALD 공정 시, 질소를 지속적으로 주입 배출하며 진행할 때요. 그 상황에서, h2o를 사용해 ALD를 하려고 하면, h2o주입 이후 중단되는 시점(각 사이클 마지막)에만 압력그래프가 다시 질소 주입으로 인한 일정 압력수준으로 도달해야되잖아요.(압력그래프가 사이클 시에는 치솟다가, 끝나면 떨어져서 다시 원래 압력을 유지하잖아요.) 그런데, h2o만 신기하게 사이클 종료시점에 아주 잠시동안 기존 질소만 주입할때의 일정 압력보다 약간 더 떨어졌다가 다시 일정해지는 구간에 도달합니다. 왜그런지 아시는 분이나, 실제 현업에서 사용하시는 분들 중에 이유를 알 수 있을까요? 다른건 안그러는데 h2o만 그래서요. 제 생각에는 설비문제보다 h2o가 가진 특별한 이유인것같아서 전문가님들께 다양한 측면에서 의견을 듣고싶어서 여쭤봅니다. ㅠㅠ
2025.09.26
답변 1
프로답변러YTN코부사장 ∙ 채택률 86%멘티님 ALD 공정에서 h2o 주입 후 압력 그래프가 잠시 더 낮아졌다가 회복되는 이유는 h2o의 특유한 흡착 및 탈착 동역성 때문입니다 h2o 주입 시 표면에서 급격히 흡착·반응 후 퍼지 시 추가적인 h2o 잔류가 순간적으로 진공 펌프에 더 많이 제거되어 일시적 압력 강하가 나타납니다 이는 h2o 분자가 표면 또는 챔버 내에 일시적으로 더 많이 응축(또는 탈착)되는 물리화학적 특성과 관계가 큽니다 실제 설비 문제가 아니라 h2o의 반응 특성에서 유래한 정상 현상으로 보셔도 무방합니다 여러 논문 및 실무에서도 h2o만의 과도 압력변동이 단기적으로 나타남이 보고되어 있습니다 채택부탁드리며 파이팅입니다!
함께 읽은 질문
Q. 공기업 취업 준비 과정 고민
안녕하세요. 저는 공기업 건축직 취업을 준비하고 있는 학생입니다. 준비를 하는 과정에 있어서 궁금한 점이 생겨서 문의 드리고자 글을 남기게 되었습니다. 1. 추가로 취득해야 하는 자격증에 대해서 여쭙고 싶습니다. 현재 컴퓨터활용능력 1급, 한국사능력검정 3급, 토익 895점, 건축기사, 건설안전기사 보유 중입니다. 토익스피킹의 경우, 응시 후 결과를 기다리고 있으며, 한국사능력검정은 2026년도에 다시 공부하여 1급 취득을 목표로 하고 있습니다. 혹시 이외에도 추가로 취득하면 좋은 자격증 있으면 알려주시면 감사하겠습니다. 2. 공기업을 목표로 하고 있지만, 기업의 종류가 너무 많아 갈피를 못 잡고 있는 상황입니다. 현재 관심 있게 찾아본 기업으로는 코레일이 있으며, 이외에도 추천할 기업이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다. 희망 기업을 설정함에 있어서 제가 희망하는 조건은 수도권 근무이면서, 교대 근무는 없었으면 합니다.
Q. 공공기관 인턴 지원 서류 제출 관련 질문 드립니다!
안녕하세요 처음 인턴에 지원하는 학생입니다. 다름이 아니라 서류 제출 방법에 대하여 궁금한점이 있어 질문드리게 되었습니다. 채용시험 응시자는 응시원서와 청년인턴 지원서를 비롯한 서류들을 필수로 제출하여야한다고 합니다. 개인정보 동의서등의 서류들도 채용 공고 한글 파일에 한데 묶여 있습니다! 질문 드리고 싶은 점은 한글 파일내에 필요한 별지 서식 서류들을 한글로 작성후 pdf로 내보내어 제출 해도 되는 것인지, 동의서와 같은 서류는 프린트하여 수기 작성 후 스캔하여 pdf로 내보내어야하는 것인지 궁금합니다. 또한 지원서 위 별지 서식 이라고 써져 있는 상단 괄호 글씨를 지워도 되는 것인지 궁금합니다. 처음 서류를 넣는 것이라 어려운 부분이 많은거 같습니다 ....ㅠㅇㅠ
Q. 동계 현장실습 2개월
안녕하세요 현재 전자공학부에 재학 중이고 반도체 공정, 설비기술, CS엔지지어를 목표로 공부 중입니다. 이번 방학때 2개월 간 현장실습을 에코디엠 랩에서 할지 고민 중인데, 괜찮은지 궁금합니다. 활동은 압전세라믹 제작 제작 완료된 압전세라믹을 검사하여 양품 선별 압전세라믹과 금속을 본딩한 후 검사 미용기기 전자 부품의 조립 1주차: 공장 라인 소개 및 압전세라믹의 원리 설명 2주차: 주차 초음파 기기에 대한 설명 3주차: 주차 초음파 트랜스듀서 이해 4~5주차: 주차 초음파 트랜스듀서 제작 6~7주차: 주차 초음파 트랜스듀서 출력 등 특성 측정 방법 8주차: 주차 조립 시 주의사항 및 기기 조립 방법, 외관 검사 및 포장 이렇습니다!
궁금증이 남았나요?
빠르게 질문하세요.