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Q. ALD h2o 사용시 압력그래프 문의

ALD 공정 시, 질소를 지속적으로 주입 배출하며 진행할 때요. 그 상황에서, h2o를 사용해 ALD를 하려고 하면, h2o주입 이후 중단되는 시점(각 사이클 마지막)에만 압력그래프가 다시 질소 주입으로 인한 일정 압력수준으로 도달해야되잖아요.(압력그래프가 사이클 시에는 치솟다가, 끝나면 떨어져서 다시 원래 압력을 유지하잖아요.) 그런데, h2o만 신기하게 사이클 종료시점에 아주 잠시동안 기존 질소만 주입할때의 일정 압력보다 약간 더 떨어졌다가 다시 일정해지는 구간에 도달합니다. 왜그런지 아시는 분이나, 실제 현업에서 사용하시는 분들 중에 이유를 알 수 있을까요? 다른건 안그러는데 h2o만 그래서요. 제 생각에는 설비문제보다 h2o가 가진 특별한 이유인것같아서 전문가님들께 다양한 측면에서 의견을 듣고싶어서 여쭤봅니다. ㅠㅠ