Q. ESC 정전척 온도 제어 질문

답변 3

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  프로답변러YTN

  코부사장 ∙ 채택률 85%

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  채택된 답변

  멘티님, ESC(정전척)는 기본적으로 웨이퍼 전체 표면에 균일한 온도를 제공하는 구조가 주 목적입니다 하지만 일부 최신 PECVD 장비에서는 구역 제어 기능이 추가되어 스팟별 독립 발열과 온도조절이 가능합니다 다만 산업 현장에서는 대부분 균일 가열 방식을 표준으로 사용하며, 불균일 가열이 필요하면 별도의 zone heater나 세분화된 열선 설계를 적용해야 합니다 웨이퍼 위치별 개별 온도 조절은 설비 사양에 따라 다르니 장비별 매뉴얼 확인이 필요합니다 일반적으로는 균일 가열이 기본 개념이니 참고하시고 채택부탁드리며 파이팅입니다!

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• 다

  다시 돌아온 상코미코

  코사장 ∙ 채택률 99%

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  안녕하세요 멘티님 해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다. 실제로도 여러 존을 구분하여 온도를 다르게 관리하고 있습니다. 각 존 별로 센서와 히팅 파츠가 있어 원하는 온도로 설정할 수 있습미다. 도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요! 취업에 성공하시길 바랍니다!

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  두부르농업회사법인닥더애그주식회사

  코전무 ∙ 채택률 59%

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  ESC는 기본적으로 웨이퍼 전면 온도를 균일하게 유지하는 목적으로 설계되지만 2~3개의 구역으로 나누어 서로 다른 온도를 주어 균일도를 맞추는것은 가능합니다. 하지만 균일도를 높이기 위한 보정 수준이지 스팟별 자유 가열 개념은 아닙니다.

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