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Q. LER, LWR 계산 소프트웨어 질문

ffudy

반도체 공정 분석에서 LER, LWR 구하기 위해서 주로 어떤 소프트웨어를 사용하시나요?


2025.02.11

답변 1

  • c
    cw3268도쿄일렉트론코리아
    코이사 ∙ 채택률 94%

    채택된 답변

    히타치사의 offline cd measurement 등 씁니다

    2025.02.11


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