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Q. PR의 양과 패턴생성

JJ ming

PR이 웨이퍼 위에 도포가 제대로 되지 않으면 패턴 생성이 안되는 이유가 뭔가요? POSI PR의 경우 PR이 도포되고 노광 공정을 통해 PR의 폴리머 결합을 끊어주는데 그 과정에서 회로 패턴 웨이퍼 표면에 생성되는건가요? 그냥 웨이퍼 위에 마스크를 대고 노광하면 안되나요?


2023.03.18

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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