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Q. SEM 관련 질문드립니다.
폴폴짝개굴
안녕하세요. SEM에 대해서 학습을 하고 있는데 궁금한 점이 생겨 질문을 드리게 되었습니다. 1. SEM에서 말하는 측정 반복성이란 동일한 조건에서 여러 번 동일한 측정 결과를 생성할 수 있는지를 나타내는 뜻인지 궁금합니다. 2. 측정 반복성의 중요한 이유가 오차가 없다는 즉, 정확하고 정밀함을 나타내기 때문에 중요한 것인지 궁금합니다. (해당 내용이 아닐 경우에 구체적으로 설명해주시면 감사하겠습니다!) 감사합니다.
2024.07.14
답변 1
로우닉스SK하이닉스코상무 ∙ 채택률 75%
채택된 답변1. 맞습니다. '여러 번 측정했을 때 동일한 Image 또는 측정값을 Processing할 수 있는가'를 뜻합니다. 2. 맞습니다. 만약 10um 소자의 길이를 측정해야 하는데 어떨 때는 9.8um이 나오고 어떨 때는 10.1um이 나오고 하면 신뢰성을 의심하게 되겠죠.
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