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Q. si. sic 반도체 공정
안녕하세요 요즘 반도체 공부를 하면서 si. sic 를 기반으로 한 웨이퍼에 포토,식각,이온주입 등 여러 공정을 한다는 것을 알아가고 있습니다 그런데 여기서 궁금한게 예를들어 포토 공정의 경우 pr코팅 ㅡ 베이크 ㅡ 노광 ㅡ 디벨롭 등의 기본적인 과정이 있는데, si웨이퍼에서는 이대로 하고 sic는 다른 과정이 들어가는지 아니면 si. sic에서도 같은 과정을 진행하는데 si-sic 특성에 따라 약간씩 조건을 바꾸는지 궁금합니다
2025.07.25
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