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Q. Sputtering 균일도

늘솜베리

안녕하세요~sputtering 방식으로 금속 증착할 경우 공정 시간이 증가할수록 uniformity가 증가하나요?


2023.06.19

답변 2

  • 합격부적삼성디스플레이
    코상무 ∙ 채택률 77%

    채택된 답변

    안녕하세요 기본적으로는 스퍼터링 시간이 길어지면 유니포미니는 좋아집니다. 다만 타겟의 수명이 다 된 경우는 예외로 알고있어요. 마지막까지 준비 잘 하셔서 건승하시길 바랍니다.

    2023.06.19



    댓글 1

    늘솜베리
    작성자

    2023.06.19

    그 이유는 무엇인지 혹시 알 수 있을까요?


  • 졸린왈루(주)KEC
    코사장 ∙ 채택률 98%

    채택된 답변

    안녕하세요 멘티님 sputtering 공정의 경우 타겟의 물질에 에너지를 가해서 물리적인 힘으로 박막에 떨어뜨리는 것입니다. 따라서 균일도가 증착할수록 증가하지는 않습니다.

    2023.06.18


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