Q. Sputtering 균일도

답변 2

• 

  합격부적삼성디스플레이

  코상무 ∙ 채택률 77%

  ---

  채택된 답변

  안녕하세요 기본적으로는 스퍼터링 시간이 길어지면 유니포미니는 좋아집니다. 다만 타겟의 수명이 다 된 경우는 예외로 알고있어요. 마지막까지 준비 잘 하셔서 건승하시길 바랍니다.

  ---

  ---

  댓글 1

  늘

  늘솜베리

  작성자

  2023.06.19

  그 이유는 무엇인지 혹시 알 수 있을까요?

• 졸

  졸린왈루(주)KEC

  코사장 ∙ 채택률 98%

  ---

  채택된 답변

  안녕하세요 멘티님 sputtering 공정의 경우 타겟의 물질에 에너지를 가해서 물리적인 힘으로 박막에 떨어뜨리는 것입니다. 따라서 균일도가 증착할수록 증가하지는 않습니다.

  ---