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Q. stepper, scanner 배율과 수율 문제

포토 공정 중 projection system(렌즈 2개 사용)의 경우 scanner와 stepper 둘다 있는 걸로 아는데요 둘다 배율이 n:1인데 수율이 좋다 설명해주셨는데 이해가 안가요 n:1이든 1:1이든 찍고 담꺼 찍으니까 수율이랑은 상관 없지 않나요..? 축소시켜서 찍는다고 수율 좋아지나요..? 그리고 scanner는 조그만한 slit으로 넘기면서 찍는 걸로 알고 있고 stepper는 도장마냥 한번에 전체부위 찍고 하는 걸로 아는데 왜 scanner가 크기가 더 클까요..? 스텝퍼는 다이 하나하나 계산한다면 스캐너는 그것보단 걍 전체적으로 스캔한다 봐야하나요?