Q. 진공

답변 6

• 펭

  펭귄이조아삼성SDI

  코부장 ∙ 채택률 76%

  ---

  보통 전자재료나 석화단지 같은 반도체보다 Bulk한 공정에서는 일반 진공 Pump를 많이 쓰는데 그경우 보통 14torr나 조금 높게 나오는 정도의 석션 압력값이 나옵니다. 그 경우 보통은 원료의 성질이 고온에서 Issue가 발생할 여지가 있을 때 진공을 땡겨서 끓는 점을 낮춰 성상 변경 → 제품 제조하는데 쓰이거나 그 외에도 배터리 공정쪽에(아마 파우치쪽일 겁니다.) 내부 가스를 디게싱하는 공정이 있는걸로 아는데 그때 진공Pump를 쓰는 걸로 알고있습니다. 초진공은 제가 담당하는 공정에서는 해당 설비를 본 적이 없어 정확히 설명드리기에 어려우나, 말그대로 진짜 내부에 아~~~~무 것도 없는 상태를 만드는 걸로 알고있습니다. 진공은 약간 "빨아 땡긴다"의 느낌이라면, 초진공은 그냥 내부의 불순물을 제거하여 불량을 최소화하는 느낌으로 이해하시면 될 것 같습니다.

  ---
• P

  PRO액티브현대트랜시스

  코부사장 ∙ 채택률 100%

  ---

  14 Torr와 0 Torr가 측정된다고 해서 바로 진공과 초진공을 구분하는 것은 아닙니다. 핵심은 압력의 절대값 범위입니다. 대기압은 약 760 Torr이므로 진공은 대기압보다 압력이 낮은 상태를 통칭합니다. 즉 14 Torr도 이미 상당히 낮은 압력의 진공 상태입니다. 일반적으로 진공은 압력 범위에 따라 대략 저진공, 중진공, 고진공, 초고진공 등으로 나눕니다. 기준은 자료나 산업 분야에 따라 조금씩 다르지만, 14 Torr는 저진공 영역, 0 Torr에 가까워질수록 더 높은 진공 영역으로 들어간다고 이해하면 됩니다. 흔히 말하는 **초고진공(UHV)**은 대략 10⁻⁷ Torr 이하 수준을 의미합니다. 여기서 중요한 게 “0 Torr”가 실제로 압력이 완전히 0이라는 뜻은 아니라는 점입니다. 일반적인 현장 진공게이지가 표시할 수 있는 측정 범위보다 압력이 낮아지면 0으로 표시될 수 있습니다. 실제로는 0.1 Torr, 0.01 Torr 또는 그보다 낮은 압력이 남아 있을 수도 있습니다. 따라서 현장에서 14 Torr → 0 Torr로 내려가는 상황이라면 “진공도가 더 좋아졌다” 또는 “압력이 더 낮아졌다”고 표현하는 것이 정확합니다. 실제 초고진공인지 판단하려면 게이지의 측정 범위와 실제 압력 단위를 확인해야 합니다.

  ---
• 

  취뽀도우미입니다대구교통공사

  코이사 ∙ 채택률 95%

  ---

  진공 공정에서 압력 단위를 확인할 때 14torr와 0torr 같은 수치가 혼동될 수 있는데, 일반적으로 진공은 대기압보다 압력이 낮은 상태를 통칭하며 그 정도에 따라 저진공, 고진공, 초진공 등으로 나뉩니다. 대기압인 760torr를 기준으로 할 때 질문하신 14torr는 저진공 내지 중간 정도의 진공 영역에 해당하며, 수치가 0torr로 표시되는 것은 실제 절대 영도의 완전한 진공을 의미하기보다는 사용하는 측정 게이지의 측정 한계나 반올림 오차로 인해 그렇게 보이는 경우가 많습니다. 산업 현장이나 실험실에서 말하는 초진공은 보통 10의 마이너스 6승 torr 이하의 극도로 낮은 압력 상태를 뜻하며, 기체 분자의 밀도가 매우 희박하여 잔류 기체와의 충돌을 최소화해야 하는 공정에 사용됩니다. 따라서 현재 실측되는 14torr와 0torr 수준은 장비의 초기 배기 상태나 게이지의 정밀도에 따른 차이로 볼 수 있으며, 진행하시는 공정이나 실험에서 요구하는 진공도 기준에 부합하는지 장비 매뉴얼과 게이지의 측정 범위를 함께 확인해보시는 것이 좋습니다.

  ---
• 다

  다할수있습니다큐비앤맘

  코상무 ∙ 채택률 54%

  ---

  조금이라도 도움이 되셨다면 채택 부탁드립니다 ~~~~ 진공은 대기압보다 압력이 낮은 상태를 의미하고 초진공은 그중에서도 압력이 매우 낮은 영역을 말합니다. 일반적으로 초고진공이라는 표현을 많이 사용하며 단순히 계측기에 0 Torr가 표시됐다고 해서 초고진공이라는 뜻은 아닙니다. 14 Torr는 대기압인 약 760 Torr보다 상당히 낮으므로 진공 상태입니다. 반면 0 Torr 표시는 실제 압력이 완전히 0이라는 의미보다는 사용 중인 진공계의 측정 한계나 표시 분해능 이하일 가능성을 먼저 확인해야 합니다. 따라서 진공 수준을 판단하려면 진공계 종류와 측정 범위, 실제 압력값을 함께 확인하셔야 합니다.

  ---
• 멘

  멘토 호날도KT

  코전무 ∙ 채택률 58%

  ---

  ● 채택 부탁드립니다 ● Torr는 압력을 나타내는 단위이며 수치가 낮을수록 진공도가 높다고 이해하시면 됩니다. 대기압은 약 760 Torr이므로 14 Torr라면 대기압보다 상당히 낮은 압력이지만 완전히 비어 있는 상태는 아닙니다. 반면 장비에 0 Torr라고 표시된다고 해서 실제 압력이 완전한 0이라는 의미는 아닙니다. 절대적인 0 Torr는 현실적으로 만들 수 없으며, 대부분 계측기의 측정 범위나 표시 분해능 때문에 매우 낮은 압력이 0으로 표시될 수 있습니다. 초고진공은 단순히 0 Torr 표시를 뜻하는 것이 아니라 일반적으로 훨씬 낮은 압력 영역을 의미합니다. 따라서 14 Torr와 0 Torr 표시만으로 진공과 초고진공을 구분하기보다는 사용 중인 진공계의 종류와 측정 가능한 최소 압력을 먼저 확인하셔야 합니다.

  ---
• 

  합격 메이트삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 77%

  ---

  멘티님. 안녕하세요. ​진공 영역은 대기압(760 Torr)보다 낮아지는 기압 수준에 따라 저진공, 중진공, 고진공, 초고진공(UHV) 단계로 구분됩니다. 말씀해주신 14 Torr는 로터리 펌프 등으로 도달하는 저진공/중진공 영역으로, 수분 제거나 일반적인 공정 배기 단계에 해당합니다. ​반면 화면상 0 Torr로 표시되는 것은 장비 계측기의 분해능 한계로 인한 수치일 뿐 실제 완벽한 0 Torr는 존재하지 않으며, 초고진공(UHV)은 보통 10^{-7}\text{ Torr} 이하의 극도로 희박한 기압 상태를 의미합니다. 초고진공 영역에서는 불순물 가스가 박막에 미치는 영향이 극도로 적어져 반도체 증착(PVD/CVD)이나 첨단 분석 장비 등 정밀 공정이 가능해집니다. ​응원하겠습니다.

  ---