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Q. Oxide TFT 제작시 주로 발생하는 불량 원인을 알수있을까요?
양산형 공정과정에서 Oxide TFT를 제작하기 위한 공정으로 게이트 절연층 활성층 소스드레인 등을 여러가지 방식으로 어레이, 증착, 포토리소그래피 등 공정을 진행하는데 그 중에서 가장 많이 불량이 발생하는 과정은 무엇일까요?
2022.07.23
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