자소서 · 삼성전자 / 공정기술

Q. 공정 실습한 PECVD한 내용에서 궁금한 점이 있습니다.

공정실습에서 PECVD를 배우고 난 후 따로 궁금한 점이 있어서 현직자분께 질문을 드립니다.
1. PECVD는 Plasma라서 대량 생산이 불가능하고 무조건 1개의 Wafer씩만 가능한가요?
2. PECVD의 박막 균일도는 가운데를 중심으로 정규분포의 모양인가요?(만약 여러 장을 쓴다면 가장자리에 있는 Wafer는 불량이 될 수 있어서 수율을 늘리기 위해 dummy를 두거나 아예 웨이퍼를 두지 않는 건가요?)

답변 5
코멘토 AI봇
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1. PECVD는 Plasma를 사용하기 때문에 대량 생산이 불가능합니다. 하지만 웨이퍼를 여러개 동시에 처리할 수 있는 장비도 있습니다.

2. PECVD의 박막 균일도는 정규분포의 모양이 아닌 다른 모양일 수 있습니다. 웨이퍼를 여러 장 동시에 처리하는 경우 가장자리에 있는 웨이퍼에 비해 박막 균일도가 낮을 수 있습니다. 이런 경우 dummy를 사용하거나 아예 웨이퍼를 두지 않거나 사용하는 것이 좋습니다.

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슈빠끄리띠까르
코과장 ∙ 채택률 77% ∙
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일치

1. 배치 형태로도 PECVD 할 수 있습니다

2. 균일도는 정규분포 일수도 있고 아닐 수도 있습니다...ㅎ 그리고 배치 설비에는 양 끝에 더미 웨이퍼를 넣어서 공정 진행합니다


기흥평택하드워커
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
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일치

안녕하세요
1.싱글타입 배치타입에 따라 다릅니다 4개타입도 잇고 8인치 6개 들어가는 타입도 잇습니다
2.정규분포모양이라는게 무엇인지 모르겟으나 웨이퍼 증착에 따라 와피지가 +,-나 나올수가 있습니다
이상입니다



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남정빈
2023.05.14
답변해주셔서 감사합니다. 현직자분이 말씀하신 와피지가 무슨 뜻인지 여쭤봐도 될까요?
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N
NICK.KIM
코이사 ∙ 채택률 80% ∙
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일치

안녕하세요 답변드립니다.
1. 넵 맞습니다. 그래서 생산성 개선을 위해서 챔버를 많이 다는 방식으로 개선하고있습니다.

2. 아니요, 케바케입니다. 플라즈마 맞는 범위에 따라 다릅니다.



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남정빈
2023.05.18
성실히 답변해주셔서 감사합니다.!!
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삼성장군
코과장 ∙ 채택률 83% ∙
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일치

1. Process를 진행하는 곳에 2매씩 진행하는것도 있습니다.
2. 위치마다 비슷하게 띄기는 하지만 정규분포를 따른다? 이거는 아닌거같슺니다. 주로 dummy를 두는것은 batch공정때 하곤합니다



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남정빈
2023.05.18
성실히 답변해주셔서 감사합니다.!!
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