자소서 · 삼성전자 / 공정기술
Q. 공정 실습한 PECVD한 내용에서 궁금한 점이 있습니다.
공정실습에서 PECVD를 배우고 난 후 따로 궁금한 점이 있어서 현직자분께 질문을 드립니다. 1. PECVD는 Plasma라서 대량 생산이 불가능하고 무조건 1개의 Wafer씩만 가능한가요? 2. PECVD의 박막 균일도는 가운데를 중심으로 정규분포의 모양인가요?(만약 여러 장을 쓴다면 가장자리에 있는 Wafer는 불량이 될 수 있어서 수율을 늘리기 위해 dummy를 두거나 아예 웨이퍼를 두지 않는 건가요?)
2023.05.18
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