Q. 반도체 공정기술 직무 업무에 대한 질문입니다.

답변 5

• P

  PRO액티브현대트랜시스

  코부사장 ∙ 채택률 100%

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  채택된 답변

  네 방향을 거의 맞게 잡으셨습니다. 다만 현업 관점에서는 DOE를 단순히 레시피 값을 조정하는 도구라고 보기보다 여러 공정변수가 결과에 미치는 영향을 정량적으로 파악하고 최적 조건을 찾는 방법이라고 이해하시면 좋습니다. 실제 반도체 공정에서는 DOE가 사용됩니다. 다만 모든 문제를 DOE로 해결하는 것은 아니고 신규 공정이나 Recipe 개발 및 변경, 수율 개선, 공정 조건 최적화처럼 여러 인자의 영향도를 체계적으로 확인해야 할 때 활용합니다. 예를 들어 온도 압력 가스 유량 RF Power 등을 여러 수준으로 설계해 실험하고 수율이나 막 두께 균일도 CD 등의 결과와 비교하면서 주요 인자와 인자 간 상호작용을 확인하는 방식입니다. 반대로 양산 중 갑자기 특정 장비에서 불량이 발생했다면 무작정 DOE를 돌리기보다 FDC SPC 장비 로그 Lot History 등을 활용해 이상 원인을 먼저 좁히는 경우가 일반적입니다. 따라서 질문하신 1번의 세 가지 활용 방향은 모두 맞지만 DOE는 그중에서도 여러 변수가 결과에 어떤 영향을 주는지 체계적으로 확인해야 하는 상황에서 특히 강력하다고 이해하시면 됩니다. 최적화와 표준화의 차이도 질문하신 방향과 상당히 비슷합니다. 최적화는 주어진 목표를 가장 잘 만족시키는 조건을 찾는 과정이고 표준화는 그렇게 결정된 조건이 어느 설비 어느 작업자 어느 시점에서도 동일한 결과를 낼 수 있도록 관리하는 과정에 가깝습니다. 예를 들어 특정 CVD 공정에서 온도 400도 압력 2Torr 가스 유량 100sccm이 가장 좋은 결과를 보였다고 하면 최적화는 이 조건을 찾는 과정입니다. 이후 동일한 공정을 여러 장비에서 수행했을 때 장비마다 결과가 달라진다면 장비별 Calibration이나 Matching을 진행하고 관리 기준과 Recipe를 정립해서 동일한 품질이 나오도록 만드는 것이 표준화에 해당합니다. 따라서 표준화가 단순히 최적 Recipe를 모든 설비에 복사해서 넣는 것이라고 생각하면 조금 부족합니다. 실제로는 Recipe뿐 아니라 장비 조건 측정 방법 공정 관리 기준 작업 절차 허용 범위 이상 발생 시 조치 방법까지 포함해서 공정의 재현성을 확보하는 개념입니다. 면접에서는 최적화는 최고 성능을 찾는 과정이고 표준화는 그 성능을 반복적으로 재현할 수 있도록 만드는 과정이라고 답하면 상당히 깔끔합니다. 특히 양산에서는 한 번 최고 수율을 만드는 것보다 여러 장비와 Lot에서 지속적으로 동일한 품질과 생산성을 확보하는 것이 중요하기 때문에 최적화 이후 표준화와 관리가 반드시 이어진다고 이해하시면 됩니다.

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  채택스포스코

  코부사장 ∙ 채택률 76%

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  안녕하세요. 멘티님. 반갑습니다. 삼성전자 반도체 공정기술 직무에서는 DOE나 유사한 분석 기법을 실제로 많이 활용하는 편입니다. 다만 교과서처럼 처음부터 끝까지 정석 DOE만 돌리는 경우보다는 이미 현장에서 쌓인 데이터와 장비 로그를 먼저 보고 방향을 잡은 뒤 필요한 구간에만 실험을 설계하는 흐름이 더 많습니다. 말씀하신 것처럼 레시피 최적화와 업그레이드에 쓰이고 불량 원인 분석에서도 쓰이는데 특히 조건이 여러 개 얽혀 있을 때 어떤 인자가 핵심인지 좁혀가는 데 유용합니다. 현업에서는 단순히 수율만 보는 것이 아니라 균일도 안정성 재현성 장비 가동성까지 함께 보면서 판단하므로 실험을 작게 나눠서 검증하고 결과가 괜찮으면 점진적으로 확장하는 방식으로 가시면 맞습니다. 공정 조건 최적화와 표준화는 분명히 구분됩니다. 최적화는 양산에 넣기 전에 혹은 양산 중에 현재 조건을 더 나은 방향으로 다듬는 일이고 표준화는 그 최적 조건을 누구나 같은 품질로 재현할 수 있게 설비 간 편차와 작업 편차를 줄여 고정하는 일입니다. 쉽게 말하면 최적화는 더 잘 나오게 만드는 과정이고 표준화는 그렇게 만든 조건을 흔들림 없이 유지하게 만드는 과정입니다. 실무에서는 최적화가 끝나도 바로 끝이 아니라 표준화 단계에서 장비별 미세한 차이까지 맞춰야 해서 사실상 두 업무가 이어져 있다고 보시면 됩니다. 준비하실 때는 DOE의 통계적 의미만 보지 말고 실제로는 장비 특성 공정 변동 원인 관리 기준 설정까지 연결해서 이해하시면 도움이 되실 것 같습니다. 모쪼록 도움이 되셨다면 채택부탁드립니다. 감사합니다.

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• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 78% ∙

  회사

  일치

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  1. 실제로 웨이퍼 평가를 많이하게됩니다. 막질이 바뀌거나 더 미세하게 에칭을 해야하거나 신규제품이들어오거나 개발을 한다거나 등등 새로운 레시피를 지속적으로 짜고 파리미터별로 미세조정을 통해 지속 해서 신규공법을 개발하고 불량이슈를 찾고 이런걸 하는게 주 업무이고 연구소공기는 신규설비도개발하고 몇년후의 미래제품도 지속개발합니다. doe라고보다는 계속해서 레시피를 무언가 건드려서 평가한다고보심되겠네요ㅎ 2. 최적화는 기존에 큰 틀에있는.레시피를 가지고와서 이에맞게 튜닝하는 느낌이고 표준화는 아예새로운 신규제품이들어오면 레시피를 다 틀어야하는 상황이있는데 이럴때 신규레시피표준화?느낌인데 두개의개념은 굳이.. 너무추상적이라 크게 중요치않은 것 같습니다. 반도체는 추상적인개념보다는 숫자의 결과를 근거로 내세우며 집요하게 파고드는 업무가많아 너무추상적인 단어에 목매이지 않는게좋다고 봐요# 도움되셨으면 채택 감사해요~

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  합격 메이트삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 78% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  멘티님. 안녕하세요. ​반도체 공정기술 현업에서는 수율 향상과 공정 조건 최적화를 위해 실험계획법을 매우 활발하게 활용하고 있습니다. 레시피 파라미터 변경 시 발생할 수 있는 변수 간 상관관계를 분석하고 불량 이슈의 원인을 파악하는 과정에서 필수적인 기법으로 다루어집니다. ​공정 조건 최적화는 수율과 품질을 극대화할 수 있는 최적의 레시피 및 설비 세팅 값을 도출하는 과정입니다. 반면 표준화는 도출된 최적 조건이 라인 내 다수의 설비와 작업 환경에서 동일하게 재현되도록 가이드라인과 매뉴얼을 수립하는 업무입니다. 이처럼 최적화로 만들어낸 기술적 기준을 양산 라인 전체에 동일하게 적용 가능하도록 정립하는 것이 표준화의 핵심 목적입니다. ​응원하겠습니다.

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• 흰

  흰수염치킨삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 57% ∙

  회사

  직무

  일치

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  안녕하세요. 멘토 흰수염치킨입니다. 1)네 실제로도 사용해요 2)최적화는 공정 결과가 가장 효율적으로 나오게 조건을 찾는 과정이고요 표준화는 동일한 장비별로 동일한 결과가 나올 수 있게 통일화하는거에요 도움이 되었으면 좋겠네요. ^_^

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