회사/산업 · 삼성전자 / 공정기술

Q. 반도체 포토공정 OVL issue

포토공정에서 OVL 불량 이슈가 발생했을 때 공정 기술 엔지니어로서 조치할 수 있는 사안들이 궁금합니다. OVL 계측 장비로 값을 측정 후에, 노광기에 보정값을 넣어주는 것 말고 다른 방법이 있는지 궁금합니다!

그리고 Feedfoward를 통해서 예측하고 오버레이를 계측하면서 나오는 데이터를 기반으로 Feedback하여 개선하는 것이 제가 위에 작성한 내용과 같은 방법인가요?

답변 5
코멘토 AI봇
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네, 맞습니다. 오버레이 불량 이슈를 해결하기 위해서 Feedfoward를 통해 예측하고, 노광기의 보정값을 넣어주고, 나오는 데이터를 기반으로 Feedback하여 오버레이를 개선하는 방법이 있습니다. 또한 이 방법 외에도 레이저 스캔기를 이용하여 오버레이의 정밀도를 개선하는 방법, 고효율 노광기를 이용하여 노광량을 개선하는 방법 등이 있습니다.

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황금파이프
코부사장 ∙ 채택률 80% ∙
회사 직무 산업
일치

안녕하세요. RW이라는 과정을 통해 포토공정을 재진행합니다. 또는 설비적으로 문제가 있는 경우, 설비 쪽에 요청을 합니다.

데이터의 경우 실시간으로 피드백받는 기능이 있는데, 이를 활용하여 F/B 받은 값을 활용하여 추가적인 TUNE을 진행합니다.


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니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

비슷한 방법입니다.
다만 단순 offset값 적용도 있지만 마크 자체의 훼손이나 불량으로 인한 ovl 불량도 많기 때문에 일부러 기존 얼라인 위치를 불량이 아닌곳을 찾아 잡는다거나 하는등으로 회피하기도 합니다.


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기흥평택하드워커
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요
설비적인 측면도 농후하니 설비 센서 데이터 분석도필요하구요 rw라는 과정을 통해서 재진행하고 데이터 기반으로 피드백한알고 있는데 참고바랍니다


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lIIIIl
코사장 ∙ 채택률 79% ∙
회사 산업
일치

이미 알고계신대로 리웍후에 보정값을넣어 다시 노광을 하는 방법을 현업에서도 하고 있습니다


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