회사/산업 · 삼성전자 / 공정기술

Q. 반도체 포토공정 OVL issue

포토공정에서 OVL 불량 이슈가 발생했을 때 공정 기술 엔지니어로서 조치할 수 있는 사안들이 궁금합니다. OVL 계측 장비로 값을 측정 후에, 노광기에 보정값을 넣어주는 것 말고 다른 방법이 있는지 궁금합니다!

그리고 Feedfoward를 통해서 예측하고 오버레이를 계측하면서 나오는 데이터를 기반으로 Feedback하여 개선하는 것이 제가 위에 작성한 내용과 같은 방법인가요?