Q. 안녕하세요. 반도체 포토공정 결함관련질문입니다.

답변 5

• 니

  니꿈은뭐니삼성전기

  코사장 ∙ 채택률 86%

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  채택된 답변

  패턴 오픈이 아예 안된 형태이고 전형적인 노광 디포커스 불량입니다. 노광기에서 적절한 포커싱이 안맞춰져서 패터닝 불량이 생긴겁니다. 원인계는 노광입니다.

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  댓글 2

  앨

  앨라이

  작성자

  2024.05.22

  사랑합니다

  앨

  앨라이

  작성자

  2024.05.22

  오늘부터 제 꿈은 삼성전기입니다

• 3

  3분커리er삼성전자

  코이사 ∙ 채택률 49% ∙

  회사

  직무

  일치

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  패턴형성이 잘 안된다면 원인은 다양하게 있어서 여러 파라미터들을 바꿔보면서 원인을 찾아낼 수 있을 것 같습니다~

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• 메

  메에모리삼성전자

  코상무 ∙ 채택률 48% ∙

  회사

  일치

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  결함을 주는 원인이 너무 다양하여 특정하기가 어려운것 같습니다

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• 

  기흥평택하드워커삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 71% ∙

  회사

  일치

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  안녕하세요 해당 결함에 대해서는 특정적으로 어떠한 파라메타 기인했는지는 정확히 단정지을수는 없습니다 설비적요인으로 오버플로우잉 될수도 있구요 정확한 것은 해당 디펙이 발생시에 인터락 혹은 FDC, ERD 데이터를 봐야 판단이 가능해 보입니다 이상 채택바랍니다

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• c

  cw3268도쿄일렉트론코리아

  코이사 ∙ 채택률 94%

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  노광 문제는 아닌것 같고요. 우선, 공정 recipe 및 식각 물질, 사용 챔버에 대한 정보를 안올려주셔서 정확한 답변은 어렵습니다 PR rounding->일반적으로 Ar+나 CF base gas 사용했을 경우 해리된 CxFy+등에 의한 sputter 영향(ion-netural collision 등) 변색-> SEM 사진이 아니라 잘 모르겠습니다만, 챔버 상태와 관련이 있어보입니다. bridge->압력이나, gas chemistry 등 문제 일 것 같네요 변색->

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