직무 · 삼성전자 / 공정기술
Q. D램 BCAT 공정 이슈?
안녕하세요, 메모리반도체 CVD 공정에 관심 깊은 학생입니다. 현재 BCAT의 TiN barrier metal 공정의 전압과 저항을 최소화 하는 게 현재 DRAM의 CVD 공정에서의 이슈로 알고 있습니다. 이에 따라 현재 이행중인 방안, 혹은 D램에서 CVD 공정 관련하여 다른 이슈가 있으면 자세히 알고 싶습니다!
2023.04.13
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