Q. D램 BCAT 공정 이슈?
안녕하세요, 메모리반도체 CVD 공정에 관심 깊은 학생입니다.
현재 BCAT의 TiN barrier metal 공정의 전압과 저항을 최소화 하는 게 현재 DRAM의 CVD 공정에서의 이슈로 알고 있습니다.
이에 따라 현재 이행중인 방안, 혹은 D램에서 CVD 공정 관련하여 다른 이슈가 있으면 자세히 알고 싶습니다!
안녕하세요, 메모리반도체 CVD 공정에 관심 깊은 학생입니다.
현재 BCAT의 TiN barrier metal 공정의 전압과 저항을 최소화 하는 게 현재 DRAM의 CVD 공정에서의 이슈로 알고 있습니다.
이에 따라 현재 이행중인 방안, 혹은 D램에서 CVD 공정 관련하여 다른 이슈가 있으면 자세히 알고 싶습니다!