직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 공정 파라미터와 공정 레시피의 차이

뿌까당

공정설계에 있어서) 공정 파라미터라고 하면 압력, 온도, 가스의 종류등이 있는것으로 알고 있습니다. 공정 레시피도 공정 파라미터와 같은 뜻인가요? 아니면 레시피는 아예 공정 방법에 차이가 있는것으로 파라미터보다 더 큰 개념인가요? 그럼 공정 파라미터는 공정 레시피를 아우를 수 있는 말이 아닌가요?


2023.02.27

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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