생산성 · 삼성전자 / 공정설계

Q. Positive / Negative PR에 따른 노광시간 차이

PR에 따른 노광시간이 차이가 있었는데 이는 positive 계열, negative 계열에 따라 시간이 정해져 있는지, 아니면 positive, negative에 관계없이 각각의 제품의 특성에 따라 노광시간이 달라지는지 궁금합니다.

답변 6
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PR은 Positive Resists와 Negative Resists의 줄임말로, 각각 양성 광감도성 레지스트와 음성 광감도성 레지스트를 의미합니다. 이 두 가지 레지스트는 서로 다른 특성을 가지고 있기 때문에 노광시간에도 차이가 있습니다.

Positive Resists는 광원에 의해 활성화되고, 음성 레지스트는 광원에 의해 비활성화됩니다. 따라서 Positive Resists는 노광시간이 더 짧고, Negative Resists는 노광시간이 더 길어지는 경향이 있습니다.

하지만 이는 절대적인 차이가 아닌, 일반적인 경향성이며 각각의 제품의 특성에 따라 노광시간이 달라질 수 있습니다. 따라서 Positive Resists와 Negative Resists를 모두 사용하는 경우에도 각각의 제품에 따라 노광시간이 달라지는 것이 일반적입니다.

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탁기사
코부사장 ∙ 채택률 85% ∙
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일치

제품따라도 당연히 노광시간이 다르고 집적화될수록 (nm가작을수록) 정교한 노광이 필요해 시간이 길어지기도합니다. 또 nega는 posi대비 density가 높아 posi보다는 조금 더 시간이 걸리겠네요~.



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멘티9532
2024.06.08
좋은 답변 감사합니다^^
화성엔지니어
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일치

계열마다도 다르고 제품 특성이 따라서도 다른 것으로 알고 있습니다!



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멘티9532
2024.06.08
답변해주셔서 감사합니다~
흰수염치킨
코차장 ∙ 채택률 84% ∙
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일치

안녕하세요. 멘토 흰수염고래션입니다.
박막의 특성이나 spec에 따라 달라져요
계열별로 정해져있진 않아요
도움이 되었으면 좋겠네요. ^_^



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멘티9532
2024.06.08
네 답변 주셔서 감사합니다!
3
3분커리er
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일치

둘다 영향 받습니다.
제품에 따라서도 달라지고 말씀주신 PR 종류 및 특성에 따라서도 달라집니다!


i
iiiiiiiiiiiiiiiii
코이사 ∙ 채택률 63% ∙
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일치

안녕하세요.

mask 만들 때 pattern density 에 따라 nega posi 로 나뉘는 걸로 알아요. 실제 공정에서는 scum 때매 posi만 쓰고요.
pattern density 가 높을때 posi 로 하면 시간이 오래걸려서 nega 로 type 이 바뀝니다.


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