직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 공정기술 / 양산기술 wet etch 공정 레시피 적용

안녕하세요 학교 실험실습을 통해 sputtering으로 증착한 박막물질에 대해 wet etching 용액별 selectivity를 확인하는 실험을 하였습니다. 실험은 여기서 마무리 되었는데 wet etching selectivity를 확인한 실험에 대해서 현업에서 어떻게 적용이 가능할지 여쭤보고 싶습니다! 예를들어 dry etch의 경우에는 selectivity와 etch rate가 trade off의 관계에 있는 것 처럼 박막에 따라 실험 레시피를 달리하는 것으로 아는데 wet etch의 경우 selectivity를 파악하고 이후 어떻게 응용이 가능할까요..