소자 Scheme은 소자의 구조와 기능을 나타내는 방식을 의미합니다. 즉, 소자의 내부 구조와 각 부품들의 연결 방식, 동작 원리 등을 나타내는 도표나 그림을 말합니다. 이를 통해 소자의 기능을 이해하고 설계하고 검증하는데 도움이 됩니다.

FE-SEM은 고속 전자를 이용하여 소자의 표면을 고해상도로 관찰하는 분석 방법 중 하나입니다. 소자 Scheme을 분석하는데에도 이용될 수 있으며, 소자의 내부 구조와 부품들의 상태를 확인하는데 유용합니다. 따라서 FE-SEM을 이용하여 소자 Scheme을 분석하는 것은 맞는 표현입니다.

안녕하세요.

소자 구조라고 이해하시면 좋을 것 같아요. SEM으로 단면을 보면 소자 스킴 분석이 가능하죠.

도움이 되셨다면 채택 부탁드립니다.

소자의 구조, 구성 그 자체가 맞습니다.
fe sem으로 단면을 보는것도 구조분석이 가능하지만 보통 단면구조는 sem보다는 fib분석을 많이합니다.

소자의 전체적인 구조를 스킴 즉 scheme라고 합니다. 예로들면 막질을 변경했으면 etch가 얼마나 되는지 잘/덜 깎이는지 평가해야하고 기존 metal배선처럼 깔면 전류가 잘 흐르는지 이런것을 보아야하는데 이럴때 전체적인 공정scheme을 변경한다고 합니다.

네 소자의 구조를 의미하는게 맞습니다

안녕하세요.

소자의 구조를 의미합니다.
F-SEM으로 측면과 Top view 이미지를 볼 수 있습니다

안녕하세요. 공정엔지니어로서 제가 알고있는 scheme의 의미는 제품의 생산단계 process flow 및 공정 컨셉을 포함하는 개념이라 생각됩니다.

sem은 표면을 보는것 같은데, 표면 분석으로 scheme 분석은 약간 무리해보이긴 하지만 공정불량이 표면으로 전사될 수 있기 때문에 넓은 범위에서는 맞다 볼 수 있겠네요.