자소서 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 노광시간과 현상시간의 공정 recipe를 변화해 줌으로써 차이 나는 CD의 원인
제가 패터닝 실습에서 '각각 두 공정 시간의 변화에 따라 ADI CD 차이가 다르게 나타는 원인'을 적으려고 하는데 그 이유가 '노광공정 중 positive PR 성질에 의한 빛의 회절 때문'이라는 것과 'projection방식이 아닌 proximity방식을 사용해서 일어난 차이' 라고 적을려고 하는데 혹시 틀린 내용인지 확인하고 싶습니다.
2024.03.17
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