직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 메모리 반도체 공정에서 식각 공정에 대해 질문입니다.

메모리 반도체를 만드는데 쓰이는 식각 공정 중 요즘에도 KOH etching과 같은 wet etching을 쓰는지 궁금합니다. 제가 캡스톤에서 KOH etching 공정이 쓰이는 센서를 제작하고 있습니다. 만약 현업에도 쓰인다면 이걸 바탕으로 자소서에 메모리 공정기술 중 식각 공정 관련 경험으로 이 경험을 쓰고 싶은데 요즘 wet etching 보다 dry etching을 훨씬 많이 쓰인다고 들었습니다. 그래서 KOH etching 같이 비등방성을 가진 wet etching도 잘 안 쓰는지 궁금합니다.