취업 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 반도체 공정실습 과정에서 발생한 문제인데 원인에 대해 분석좀 해주세요
제가 공정실습에 ITO 박막이 증착된 Wafer에 LiF를 다시 증착하였고 그 위에 PR Coating을 진행하였습니다. 그과정에서 모서리 부분에 PR이 제대로 코팅되지 않았습니다. 제대로 입혀지지 않은 상태에서 노광 후 습식 식각, 클리닝을 진행했는데 PR이 제대로 입혀지지 않은 부분만 전류가 흐르지 않았습니다. 이 과정에서, PR Coating이 제대로 되지않아 LiF가 식각되어 전류가 흐르지 않았다고 이해해도 될까요?
2024.02.09
함께 읽은 질문
- Q.Lorem ipsum dolor sit amet, consectet
- Q.Lorem ipsum dolor sit amet, consectet
- Q.Lorem ipsum dolor sit amet, consectet
궁금증이 남았나요?
빠르게 질문하세요.

