직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 반도체 공정조건 공정변수

cchemen9

포토공정을 진행하면서 exposure time, developing time 에 따른 변화와 에칭공정에서 gas 비율, RF power에 따른 변화를 관찰하였는데 공정조건을 변화시키건가요 공정변수를 변화시킨건가요? 공정조건과 공정변수가 같은 의미인가요?


2021.11.07

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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