대학생활 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 반도체 High-k gate 질문있습니다.
안녕하세요. High-k를 사용하는 이유가 유전율을 높여 적당한 두께로 터널링을 방지하기 위함이라 알고 있습니다. 근데 공부하던 도중, 과하게 높은 유전율을 사용하면 오히려 SS가 증가하고, leakage가 증가할 수있어 적당한 물질을 사용해야하는것을 봤습니다. 그 이유가 무엇인지 궁금합니다.
2023.08.29
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