직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 삼성전자(하이닉스) CVD공정에서 케미컬 교체

안녕하세요
옛날에 하이닉스 클린공정 양산기술 엔지니어분이랑 직무캠프를 한 적이 있는데
그때 process time, defect, 비용을 고려해서 3개의 후보군 중 1개의 케미컬을 선정하는 과제를 했습니다

근데 제가 이걸 CVD공정에도 내용을 적용해보려 하는데,
일반적으로 CVD공정에서 chemical gas를 선정할때는 어떤 요소를 고려하는지 알려주시면 감사하겠습니다

감사합니다!

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2022.06.01

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