직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 삼성전자(하이닉스) CVD공정에서 케미컬 교체

안녕하세요
옛날에 하이닉스 클린공정 양산기술 엔지니어분이랑 직무캠프를 한 적이 있는데
그때 process time, defect, 비용을 고려해서 3개의 후보군 중 1개의 케미컬을 선정하는 과제를 했습니다

근데 제가 이걸 CVD공정에도 내용을 적용해보려 하는데,
일반적으로 CVD공정에서 chemical gas를 선정할때는 어떤 요소를 고려하는지 알려주시면 감사하겠습니다

감사합니다!

공유

2022.06.01

답변 4
어
어피치ㅣ
코차장 ∙ 채택률 77% ∙
회사 산업
일치

어느 모듈이냐에따라 고려해야할 점이 달라지는데요..
대외비 내용이 포함될까봐 일부만 말씀드리면 메탈의 경우 저항이 작은지, Patterning이 잘되는 물질인지, 선택비가 좋은지 등과 말씀하신대로 비용, defect 없이 잘 채워지는지 등을 많이 따지죠

2022.06.01

황
황금파이프
코부사장 ∙ 채택률 80% ∙
회사 산업
일치

CVD에도 수많은 공정이 있어서 말씀드리기 애매한데 위에서 언급한 세 가지 factor는 어딜가나 기본적으로 고려할 것이고, 추가로 최종 박막의 density가 좋은지, precursor의 경우 공정온도에 적합한지 등을 고려합니다.

2022.06.01

r
radish
코부사장 ∙ 채택률 77% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요

CVD공정에서도 어떠한 프로세스냐에 따라 GAS가 달라지기에 특정하기가 많이 어렵습니다...!ㅜㅜ

2022.06.01

개
개미는오늘도뚠뚠
코부사장 ∙ 채택률 75% ∙
회사 산업
일치

클린공정에서의 선정요소와 큰틀에서는 동일하다 볼수있겠습니다.

모든공정에서의 핵심은 수율과 defect이기때문이지요

2022.06.01

답변이 안보이시나요? 직접 질문해보세요.
글자수: 0 / 500