Q. 삼성전자 ALD 공정관련 질문입니다.
삼성전자 제조&기술 사업부 공정기술 직무를 희망하는 학생입니다.
연구실 인턴 때, DIPAS(Diisoprophyla minosilane)을 전구체로 사용하여 SiO2 박막을 증착하는 과정을 해보았습니다. 이 때 온도에 따라 GPC 특성과 박막의 균일성, 박막 내의 조성비 , 불순물 비 등을 관측하여 저온 환경에서도 SiO2 증착이 가능하다.. 는 식으로 서술하여 , 공정 부문의 에너지 효율을 증가시키겠다. 식으로 서술을 하려 하는데, 이런 경험이 공정기술 직무에 도움이 될지 궁금합니다.
2024.03.16