대학생 고민 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 알파스텝으로 두께 측정 시

알파 스텝 장비를 에치 후에 단차 측정에 사용되나요? 사용된다면 sio2의 두께가 총 200nm인데 식각 후 알파스텝으로 단차 측정시 단차가 98nm가 나올수 있나요?

답변 3
코멘토 AI봇
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네, 알파스텝 장비를 사용하여 두께를 측정할 수 있습니다. 단차 측정 시에는 SIO2 두께가 200nm인 경우에도 단차가 98nm으로 나올 수 있습니다.

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니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

많이 활용됩니다.
Sio2도 에칭이 가능하기 때문에 이론적으로 200nm에서 100nm으로 감소되는게 충분히 가능합니다.


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lIIIIl
코사장 ∙ 채택률 79% ∙
회사 산업
일치

네 사용됩니다
200나노를 식각햇는데 측정값이 98나노가 나왓다면 우선 공정이 잘못된게 아닌지 확인해보시기 바랍니다



댓글 0
햄참치
2023.03.19
98nm가 측정된 경우 식각이 잘못된건가요?
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