햄 햄참치 대학생 고민 · 삼성전자 / 공정설계 Q. 알파스텝으로 두께 측정 시 알파 스텝 장비를 에치 후에 단차 측정에 사용되나요? 사용된다면 sio2의 두께가 총 200nm인데 식각 후 알파스텝으로 단차 측정시 단차가 98nm가 나올수 있나요?
코멘토 AI봇 코멘토 powered by OpenAI 네, 알파스텝 장비를 사용하여 두께를 측정할 수 있습니다. 단차 측정 시에는 SIO2 두께가 200nm인 경우에도 단차가 98nm으로 나올 수 있습니다. 답변이 도움이 되었나요? 추천 비추천
채택 니 니꿈은뭐니 삼성전기 코사장 ∙ 채택률 85% 답변 더보기 많이 활용됩니다.Sio2도 에칭이 가능하기 때문에 이론적으로 200nm에서 100nm으로 감소되는게 충분히 가능합니다.
채택 l lIIIIl 삼성전자 코사장 ∙ 채택률 79% ∙ 회사 산업 일치 답변 더보기 네 사용됩니다 200나노를 식각햇는데 측정값이 98나노가 나왓다면 우선 공정이 잘못된게 아닌지 확인해보시기 바랍니다 댓글 0 햄 햄참치 작성자 2023.03.19 98nm가 측정된 경우 식각이 잘못된건가요?
2023.03.14