대학생활 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 알파스텝으로 두께 측정 시

햄참치

알파 스텝 장비를 에치 후에 단차 측정에 사용되나요? 사용된다면 sio2의 두께가 총 200nm인데 식각 후 알파스텝으로 단차 측정시 단차가 98nm가 나올수 있나요?


2023.03.19

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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