회사/산업 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 에칭

오렌지빵

Plasma etching이 er이나 selectivity가 낮은 거로 알고 있는데 이를 개선하기 위해서는 어떤 방법이 있을까요? 플라즈마 종류나 압력 온도 바꿔가면서 테스트하는건가요?


2020.09.07

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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