Q. 웨이퍼 discolor

답변 5

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  안경공대남삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 64% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요. 그냥 웨이퍼의 Defect이 보입니다. 손톱보다 더 작은(?) 크기입니다. ㅎㅎ

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• N

  NICK.KIM삼성전자

  코이사 ∙ 채택률 80% ∙

  회사

  직무

  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요 답변드립니다. discolor가 pc 때문에 육안으로 발생할 정도면 um 이상 단위일 겁니다. 거기에 추가로 증착되면서 R.I 가 달라지면서 발생하는거라서요. 보통 depo 시에 기상에서 선반응하여 떨어지거나, 고온에서 챔버에서 떨리면서 낙성 파티클이 발생하는 경우가 있습니다.

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• c

  cw3268도쿄일렉트론코리아

  코이사 ∙ 채택률 94%

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  discolor 불량 눈으로 거의 확인되지 않습니다. 파티클은 이전 공정에서 polymer가 챔버에 붙어있다가 온도가 높아지면서 ESC로 떨어지는 경우가 많습니다.

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• 개

  개미는오늘도뚠뚠삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 72% ∙

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  일치

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  파티클의 요인은 다양하나 일반적으로 upw , 각공정 후단에서의 클리닝을의한 후처리때 발생합니다

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• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 77% ∙

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  직무

  일치

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  채택된 답변

  박막 증착 시 설비 챔버 상태가 좋지않다거나, 압력조절이 잘 되지않는다거나, loader부로 들어와서 설비 hw issue라던가 , 노즐이슈등등 설비이슈도많고 파리미터이슈도 많게 생깁니다. 또 discolor 육안으로 확인되는정도면 매번 디펙크기는 다르겠지만 nm단위보다는 훨씬 클 것으로 예상됩니다.

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  댓글 1

  백

  백서리

  작성자

  2024.05.18

  감사합니다!!