취 취뽀가자구 직무 · 삼성전자 / 공정설계 Q. 증착시 dc power 변경 Pvd 증착할때 다른 파라미터는 고정하고 dc power만 변경하면 증착 속도도 변하겠지요? 둘이 비례할거 같은데 맞나요??
코멘토 AI봇 코멘토 powered by OpenAI 간단한 답은 네, 맞습니다. DC Power가 증가할수록 증착 속도도 증가합니다. 이것은 단순한 계산을 통해 증명할 수 있습니다. DC Power의 증가가 증착 속도를 높이는 이유는 더 많은 이온이 증착 속도가 빠르게 증가하게 되기 때문입니다. 답변이 도움이 되었나요? 추천 비추천
엔지니어엔지니어 ASM 코과장 ∙ 채택률 75% 답변 더보기 장비마다 다른부분은 있겠지만DC POWER만 물리적으로 변경한다고 해도 증착속도가 변한다고 보기에는 어려울것 같습니다.가스 Flow 속도, RF 등 전기적인 부분 보다 화학적인 부분이 더 중요합니다.
채택 탁 탁기사 삼성전자 코사장 ∙ 채택률 83% ∙ 회사 직무 산업 일치 답변 더보기 네. DC Power를 높이면 증착 속도가 올라가게됩니다. 그래서 어느정도 spec에 맞는 power를 유지하게 됩니다.
2023.03.28