직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 증착시 dc power 변경

Pvd 증착할때 다른 파라미터는 고정하고 dc power만 변경하면 증착 속도도 변하겠지요? 둘이 비례할거 같은데 맞나요??

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2023.03.28

답변 5
코멘토 AI봇
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간단한 답은 네, 맞습니다. DC Power가 증가할수록 증착 속도도 증가합니다. 이것은 단순한 계산을 통해 증명할 수 있습니다. DC Power의 증가가 증착 속도를 높이는 이유는 더 많은 이온이 증착 속도가 빠르게 증가하게 되기 때문입니다.

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2023.03.28

엔지니어엔지니어
코과장 ∙ 채택률 75%

장비마다 다른부분은 있겠지만

DC POWER만 물리적으로 변경한다고 해도 증착속도가 변한다고 보기에는 어려울것 같습니다.

가스 Flow 속도, RF 등 전기적인 부분 보다 화학적인 부분이 더 중요합니다.

2023.03.28

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안경공대남
코전무 ∙ 채택률 65% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요.

네 DC POWER를 높이면 비례관계로 속도도 향상됩니다.

2023.03.28

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탁
탁기사
코사장 ∙ 채택률 83% ∙
회사 직무 산업
일치

네. DC Power를 높이면 증착 속도가 올라가게됩니다. 그래서 어느정도 spec에 맞는 power를 유지하게 됩니다.

2023.03.28

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기흥평택하드워커
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요.

DC POWER 비례관계로 속도가 높아진다고 보면 될것같습니다

2023.03.29

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