Q. 증착시 dc power 변경

답변 4

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  기흥평택하드워커삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 71% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요. DC POWER 비례관계로 속도가 높아진다고 보면 될것같습니다

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• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 77% ∙

  회사

  직무

  일치

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  채택된 답변

  네. DC Power를 높이면 증착 속도가 올라가게됩니다. 그래서 어느정도 spec에 맞는 power를 유지하게 됩니다.

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• 

  안경공대남삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 65% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요. 네 DC POWER를 높이면 비례관계로 속도도 향상됩니다.

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  엔지니어엔지니어ASM

  코과장 ∙ 채택률 75%

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  장비마다 다른부분은 있겠지만 DC POWER만 물리적으로 변경한다고 해도 증착속도가 변한다고 보기에는 어려울것 같습니다. 가스 Flow 속도, RF 등 전기적인 부분 보다 화학적인 부분이 더 중요합니다.

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