직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 증착시 dc power 변경
Pvd 증착할때 다른 파라미터는 고정하고 dc power만 변경하면 증착 속도도 변하겠지요? 둘이 비례할거 같은데 맞나요??
2023.03.29
답변 4
- 기흥평택하드워커삼성전자코전무 ∙ 채택률 71% ∙일치회사
채택된 답변
안녕하세요. DC POWER 비례관계로 속도가 높아진다고 보면 될것같습니다
- 탁탁기사삼성전자코사장 ∙ 채택률 77% ∙일치회사직무
채택된 답변
네. DC Power를 높이면 증착 속도가 올라가게됩니다. 그래서 어느정도 spec에 맞는 power를 유지하게 됩니다.
안경공대남삼성전자코부사장 ∙ 채택률 64% ∙일치회사채택된 답변
안녕하세요. 네 DC POWER를 높이면 비례관계로 속도도 향상됩니다.
엔지니어엔지니어ASM코과장 ∙ 채택률 75%장비마다 다른부분은 있겠지만 DC POWER만 물리적으로 변경한다고 해도 증착속도가 변한다고 보기에는 어려울것 같습니다. 가스 Flow 속도, RF 등 전기적인 부분 보다 화학적인 부분이 더 중요합니다.
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