직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 증착시 dc power 변경

취뽀가자구

Pvd 증착할때 다른 파라미터는 고정하고 dc power만 변경하면 증착 속도도 변하겠지요? 둘이 비례할거 같은데 맞나요??


2023.03.29

답변 4

  • 기흥평택하드워커삼성전자
    코전무 ∙ 채택률 71%
    회사
    일치

    채택된 답변

    안녕하세요. DC POWER 비례관계로 속도가 높아진다고 보면 될것같습니다

    2023.03.29


  • 탁기사삼성전자
    코사장 ∙ 채택률 77%
    회사
    직무
    일치

    채택된 답변

    네. DC Power를 높이면 증착 속도가 올라가게됩니다. 그래서 어느정도 spec에 맞는 power를 유지하게 됩니다.

    2023.03.28


  • 안경공대남삼성전자
    코부사장 ∙ 채택률 64%
    회사
    일치

    채택된 답변

    안녕하세요. 네 DC POWER를 높이면 비례관계로 속도도 향상됩니다.

    2023.03.28


  • 엔지니어엔지니어ASM
    코과장 ∙ 채택률 75%

    장비마다 다른부분은 있겠지만 DC POWER만 물리적으로 변경한다고 해도 증착속도가 변한다고 보기에는 어려울것 같습니다. 가스 Flow 속도, RF 등 전기적인 부분 보다 화학적인 부분이 더 중요합니다.

    2023.03.28


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