Q. 증착이 덜 될때

답변 4

• N

  NICK.KIM삼성전자

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  직무

  일치

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  안녕하세요, 답변드립니다. 로딩, 언로딩의 문제가 아니라, 다른 파라가 영향을 줬을거라 봅니다. 혹은 로딩, 언로딩이 메뉴얼로 진행시에는 압력 차압간 문제로 인해, MFP 가 달라지게 되고 그에 따라서 증착량이 달라지거나 변화했을 수도 있을 것 같네요 로딩 AUTO 유무로 THK를 판단한다기보다는, 공정 환경 변경점이 뭐가 있을지 TRACE 해보시면 좋을듯합니다. 1. 보통 압력, 온도, 유량, PUMP, 배기단, PTC, H/J 등을 고려합니다. 2. 네 경우에 따라 다르지만 ROX의 경우 2퍼센트 내외로 관리합니다.

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• 니

  니꿈은뭐니삼성전기

  코사장 ∙ 채택률 86%

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  15% 오차면 SPC 스펙 범위를 벗어나는 부분이라 현업에서는 무조건 개선 들어갑니다. 증착 이슈시 99%이상은 레시피 이상보다는 설비의 기구부적 문제에 기인하기 때문에, 가장 먼저 셔터부분과 가스 유량제어 부분을 확인합니다. 예상컨데 수동진행시 문제가 발생한것으로 보입니다.

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• 삼

  삼성 고인불삼성전자

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  랏처리를 어떻게 하느냐인데 사실 이건 경험치 입니다 어느 스텝에서 중단되었는지가 중요하며, 챔버 상태들을 고려해 경험상 어떻게 해야하는짚정하는데 주로 레시피 건듭니다. 채택 부탁드립니다. 그리고 마진이 있는 공정이냐 아니냐에 따라 15퍼가 큰건지 아닌건지 정해집니다.

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• 답

  답변왕삼성전자

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  일치

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  우선 오차는 줄이면 줄일수록 좋은겁니다. 로딩 언로딩을 수동으로 조절하셨을 때 그렇게 나오셨다면 loadmap을 통해 그 데이터를 보셨을거라 판단되고 보통 레시피를 바꾸는 일은 거의 없으니 장비를 좀 더 조절하는게 맞는 것 같습니다!

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