직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 증착 공정 개선 기술
안녕하세요. 공정 기술 직무로 지원하고자 하는 취준생입니다. 8대 공정 중 증착 공정에 초점을 두고 지원하려 하는데요. 증착 공정 관련해서 궁금한 점이 있습니다. 미세화가 되어가면서 포토 공정에서는 resolution 향상을 위해 ArF immersion, PSM, OPC, 다중패터닝 등의 기술이 도입되어서 개선되고 있다고 공부했습니다. 이런 맥락과 같은 느낌으로 증착 공정에서는 미세화에 맞춰, 혹은 수율 향상을 위해 도입된 새로운 기술이 있을까요?
2021.08.16
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