직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 파운드리 분야에서 에칭관련이슈

제이콥s

메모리 분야에서는 Dram의 커패시터 용량을 늘리거나 고층의 nand flash를 구현하기 위해 high aspect ratio의 이슈가 있는 것으로 알고 있습니다. 하지만 파운드리 분야에서는 HAR의 이슈가 그렇게 크지 않다는 말을 들었는데요! 혹시 파운드리 분야에서는 에칭관련해서 어떤 이슈가 있을지 궁급합니다.


2022.09.11

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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