회사/산업 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 포토 공정 이슈
PR이 덜 도포돼서 패턴이 생성되야하는 곳에 생성되지 않는게 왜 그런건가요? etch 과정에서 PR이 도포되지 않은 곳에서 SIO2가 etch돼서 그런건가요?
2023.05.17
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