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Q. 포토 공정 이슈

PR이 덜 도포돼서 패턴이 생성되야하는 곳에 생성되지 않는게 왜 그런건가요?

etch 과정에서 PR이 도포되지 않은 곳에서 SIO2가 etch돼서 그런건가요?

답변 5
코멘토 AI봇
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그래서 그 부분에서 패턴이 생성되지 않는 건가요? 그럼 방안으로는 PR이 더 도포되게 하는 것이 좋겠는데, 이것은 제품의 품질에 어떤 영향을 미칠까요? 그리고 PR 도포가 제대로 되는지 점검하는 방법도 같이 알려주시면 감사하겠습니다.

PR 도포 문제는 제품의 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. PR이 도포되지 않은 곳에서 SIO2가 etch될 수 있기 때문에, 이는 제품의 생산성, 내구성, 전기적 및 물리적 성능에 대한 문제를 일으킬 수 있습니다.

PR 도포를 점검하는 방법으로는 오토포토그래피(APT)나 레이저가 있습니다. APT는 사진촬영 방법을 사용하여 PR 도포 정도를 측정하고 레이저는 적외선 레이저 빔을 사용하여 PR의 도포 정도를 측정합니다. 또한, 제품의 물리적 및 전기적 성능을 확인하기 위해 미터링 기기 및 전기기기를 사용할 수도 있습니다.

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코부사장 ∙ 채택률 69%

안녕하세요 멘티님..!
일반적으로 PR도포 과정에서 잘못된 도포 조건이나 장비로 덜 도포 될 수 있습니다..
혹은 재료 자체의 품질문제나, 노광과정에서의 문제도 고려해볼수있어요.
또한 에칭과정에서 PR 형성 후에 에칭 과정에서 문제가 발생할 수 도 있습니다..!


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답변왕
코부장 ∙ 채택률 71% ∙
회사 산업
일치

Pr은 접착력과 관련이 있습니다. Pr이 덜 도포 된다면 접착력이 떨어질 것이고, 해당 부분에 대해 회로설계가 잘 되지 않는 것 입니다. 웨이퍼 위에 코팅된 pr에 패턴을 새기는 건데 pr이 도포가 되지않은걸 상상해봐주세요!


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탁기사
코부사장 ∙ 채택률 84% ∙
회사 산업
일치

pr이 도포되지않으면 posi기준으로 차단막이 없어지니 그 부분이 etch가됩니다. 원하지않는부분이 etch되어 패턴간격이 불안정해지고 불량품이 됩니다.



댓글 0
J
J ming
2023.05.17
감사합니다. PR이 SiO2가 etch되는걸 막아주는 차단막 역할을 한다고 보면 되는거죠?
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기흥평택하드워커
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요
말씀한것처럼 감광액이 덜 도포 된 것일수도 잇고 설비 챔버 안에 파라메타가 설정값에 미치지 않을수도 잇구요 마스크의 문제일수도 잇고요 다양합니다,, 현업에서 일하면 딱 정답이 나오는 경우는 데일리 인터락아닌 이상에는 없습니다
이상 채택 바랍니다


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