직장인고민 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 핀펫에서 elevated s/d공정
핀모양 부분을 위로 길게 만들어준다는 것인가요?
답변
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eSD는 FinFET이전에 Planar 구조에서도 만들어준 구조입니다
EPI 공정으로 SD을 만드는데 Contact이 잘 되도록 active Fin 보다 높게 성장시켜 주는 구조입니다
EPI 공정으로 SD을 만드는데 Contact이 잘 되도록 active Fin 보다 높게 성장시켜 주는 구조입니다
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안녕하세요.
SD 영역에 EPI를 해서 올려주어고 이 곳에 Contact 을 박아줘서 elevated 라고 표현하는데요.
공정 관점으로는 CONTACT 시 TR이 있어 Aspect ratio가 높아 unetch가 나거나 하는 문제를 해결해주기 위함이라 알고 있습니다.
SD 영역에 EPI를 해서 올려주어고 이 곳에 Contact 을 박아줘서 elevated 라고 표현하는데요.
공정 관점으로는 CONTACT 시 TR이 있어 Aspect ratio가 높아 unetch가 나거나 하는 문제를 해결해주기 위함이라 알고 있습니다.
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핀쪽은 게이트가 올라가는 부분입니다.
source와 drain쪽을 epitaxy 성장해서 만드는걸 말하는거 같네요
source와 drain쪽을 epitaxy 성장해서 만드는걸 말하는거 같네요
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정확히 어떠한 의미로 얘기하신지도 잘이해가 안가는데, 아닌듯 합니다
2022.06.05