취업 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 화합물 반도체 공정 차이 질문있습니다.

안녕하세요.
1. 화합물 반도체 제조 공정과 기존 8대 공정의 차이가 궁금합니다.

2. 특히 화합물 반도체 제조 공정 중 포토 공정에서의 차이와 어떤 점을 유의해야 하는지 알려주시면 감사하겠습니다.

답변 6
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화합물 반도체 제조 공정은 8가지 공정의 일부분으로 볼 수 있습니다. 특히 포토 공정은 화합물 반도체 제조 공정과 8가지 공정의 차이는 주로 불투명한 물질로 인해 발생합니다. 포토 공정에서는 각 물질이 불투명한 물질로 변화하기 때문에 이를 적절하게 제어해야 합니다. 또한 화합물 반도체 제조 공정은 다양한 연구가 필요하기 때문에 고정된 공정이 아닌 연구개발이 가능한 공정입니다.

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바보아니에요
코대리 ∙ 채택률 89%

안녕하세요.

단위 공정 자체는 화합물 반도체나 Si나 큰 차이는 없습니다.
다만 기판 물질이 다르기 때문에 물질적 특성 차이에서 오는 차이는 있을 수 있습니다.
( 간단히 SiC는 투명해서 포토 공정에서 Si와 노광 시 반사되는 양이 다릅니다 )

크게 보면 같으나, 세부적으로 보면 차이가 있을 수 있습니다. (온도라거나..)

감사합니다.


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탁기사
코사장 ∙ 채택률 83% ∙
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일치

음 질문이 조금 이해가 안가는데, 반도체자체가 화합물반도체입니다. p n 모두 쓸 뿐 아니라, high k 물질사용을 위해 여러 화합물 반도체를 섞어서 절연막에 사용하기 때문이죠. 이 하나하나 공정들이 다 8대공정을 시작으로 근간이됩니다
먼저8대공정 flow 순서를 익히는걸 추천드립니다.


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대맹생이모사불라
코이사 ∙ 채택률 92% ∙
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일치

안녕하세요 멘티님!

기존 8대 공정의 경우 화학적 반응과 물리적 반응을 조합해서 반도체를 생산하고 있습니다.
하지만 선폭이 점점 더 미세화되면서 한계가 드러나고 있는 것이 현실입니다.
이러한 한계를 극복할 수 있는 대안으로 등장하고 있는게 화합물 반도체입니다.
물리적, 화학적 반응을 고도화시키는 대신, 반도체에 사용하는 재료 자체를 보다 유리한 재료를 사용한다는 개념이기 때문입니다.
같은 선폭이라도 더 높은 성능을 발휘할 수 있는 것이 화합물 반도체의 특징입니다.


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니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

1 기본적인 8대 프로세스는 동일하고 증착물질이 일부 다르고 그러다보니 계면의 원자재특성에 따른 세부조건들이 다르게 됩니다.
2. 계면이 상이하여 계면차이에 따른 lithography 조건들이 완전히 다릅니다. 레시피부터 사용되는 감광소재들까지요.


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기흥평택하드워커
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
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일치

안녕하세요
1. 반도체 자체가 화합물 덩어리인게 아닐까 싶은데요
2. 머 재료를 성능 높은 소재로 변경해서 하면 같은 선포이라도 성능 발휘하는게 달라질 수가 잇겠죠 하지만 그만큼 단가가 높아지니 양면성이 있는데 고객들의 수요에 맞게 진행을 해야할 것 같습니다


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