직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. ALD 공정 TiN 증착 화학반응식 질문입니다.

머노머농

ALD로 전구체 TiCl결합+ NH3 사용해서 TiN 증착하고, 다공성 TiO 박막 얻는 과정인데요... 1) TiCI , TiO 결합 비가 어떻게되나요? TiCl4..? TiO2 ? 2) TiO 막이 생성되는건 TiN 을 SiO2 , Si 기판 어디에 증착했을떄 나타나는건가요??


2022.03.29

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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