직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. Dof와 resolution

위 두개는 서로 trade off관계에 있다고 들었는데 두개를 쌍방향으로 향상시킬 수 있는 방법이 있을까요?

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2021.08.25

답변 4
삼
삼전현직자
코부사장 ∙ 채택률 80% ∙
회사 산업
일치

말그대로 trade off이기때문에 둘다 플러스 방향으로 가기는 어렵습니다. 다만 그 오차를 줄이는 방향으로 개선하려고 하고있죠

2021.08.25

니
니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

각 이론마다 k1,k2 팩터가 있는데 이 안에 노광기 자체적인 운용능력이 조금씩들어갑니다.
메이커마다 자체 노하우로 이를 어느정도 상충되게끔합니다.

2021.08.25

하
하이닉스 고인물
코상무 ∙ 채택률 76%

K1,K2 값을 조절해서 같이 향상시킬수 있습니다. 해상도를 향상시키기 위해서는 OAI, OPC, PSM이 있고
Dof는 CMP를 통해 개선합니다.

2021.08.25

공
공정설계현직3
코전무 ∙ 채택률 80% ∙
회사 직무 산업
일치

정말 Trade off 관계라 어쩔수 없습니다
resolution을 포기하긴 힘드니...
CMP를 해서 DOF를 해결하는 수 밖에 없습니다..

2021.08.25

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