대학생활 · 삼성전자 / 공정설계

Q. Etch공정 질문드립니다

럭끼먼볌

Etch 공정에서 BARC, ACLstep이 있는데 해당 step은 구체적으로 어떤 역할을 하는 step인가요?? 각각 어떤 막질을 식각하고 어떤 가스를 사용하는지 궁금합니다


2024.01.08

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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