취업 · 삼성전자 / 공정설계

Q. HMDS 도포에 대해 질문드립니다.

멘티다

반도체 포토 공정에서 HMDS 처리를 하는 방법은 고온에서 HMDS를 증발시키는 방법과 N2가스 압력을 이용하는 방법이 있는 것으로 알고 있습니다. 혹시 두 방식의 단점과 장점이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다. 특히 고온 방식이 N2가스 방식보다 특성이 뛰어난지, 만약 그렇다면 이유가 무엇인지 궁금합니다.


2023.09.08

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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