대학생활 · 삼성전자 / 공정설계

Q. lift off 공정 관련 질문이 있습니다

ssilverbell

안녕하세요, lift off 공정에서는 negative PR을 사용하잖아요, 그런데 노광 시간을 늘려주게 되면 더 많은 시간동안 PR이 빛을 받게 되고, 경화가 더 많이 일어나서 PR 위에 metal을 증착 후 PR을 strip 했을 때, 노광 시간을 늘려주기 전보다 패턴의 critical dimension이 더 작아지게 되는거 아닌가요?? 상세한 설명 해주실 분 부탁드립니다 ㅜ


2022.06.24

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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