회사/산업 · 삼성전자 / 공정설계

Q. LPCVD 증착속도 질문

윤슬빈

LPCVD는 한 번에 여러장의 웨이퍼 공정이 가능하고 고온공정인데 증착속도가 느린이유가 무엇인가요?


2020.06.19

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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