회사/산업 · 삼성전자 / 공정설계
Q. LPCVD 증착속도 질문
LPCVD는 한 번에 여러장의 웨이퍼 공정이 가능하고 고온공정인데 증착속도가 느린이유가 무엇인가요?
2020.06.19
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