MTS | 코멘토

Q. MTS

목목구녕

반도체 공정 설계 엔지니어에세 MTS 확보가 중요하다고 합니다. 제가 찾아본 결과, MTS 확보란 "소자의 특성은 각 모듈의 스펙에 따라 결정됩니다. 우리의 공정 능력 안에서 최고의 특성을 내는 모듈 스펙을 정립해야 합니다"라고 합니다. 하지만 MTS가 정확하게 무엇인지 궁금합니다. 저의 질문은 다음과 같습니다. 1. MTS가 무엇의 약자인가요? 2. MTS가 무엇을 뜻하나요? 3. "MTS 확보" 하라는 것이 어떤 의미인가요? 4. "MTS 변화" 라는 것은 스펙이 변한다는 건가요? 5. 모듈 스펙이라는 것이 무엇인가요? 6. contact, via, metal 의 height 또는 CD를 증감시키는 것이 MTS 변경인가요? 7. contact, via, metal 의 height 또는 CD를 증감시켜 성능을 향상시키는 과정이 MTS 확보인가요?

2023.08.30

답변 3

N
NICK.KIM삼성전자
코이사 ∙ 채택률 80% ∙
회사
직무
일치
채택된 답변
안녕하세요 답변드립니다. 1. Module Target Spec 입니다. 2. 제품을 개발하는데 있어서 맞춰야하는 SPEC들, THK, Etch 수준 등 다양합니다. 3. 제품 개발 PA 가 값을 설정하면 공정 PA가 그걸 맞추는 것을 의미합니다. 4. 넵 필요에 따라서 MTS는 변경됩니다. 5. 제품 개발하는 모듈이 있습니다. 이건 들어와서 제품에 따라 상이하게 나뉘니 와서 배우시면 됩니다. 6. 넵 맞습니다. 7. 아뇨, SPEC 을 정해서 그것에 맞춰서 값을 확보하면, MTS 확보라고합니다. 첨언을 드리자면, 이건 현업에서 쓰는 말이지 지원자가 공부해가며 알 필요는 없는 내용입니다. 기본적인 공정기술 / 공정설계 관련해서 학습하시는 것을 추천드립니다.
*현직자 3만 명의 취업 정보가 실시간 업데이트됩니다.
2023.08.28
반
반왕연구왕삼성전자
코주임 ∙ 채택률 67%
채택된 답변
안녕하세요 채택부탁드립니다 1.Module Target Spec입니다 2. 어느 제품이냐에 따라 다르지만 각 모듈별 (FEIL MEOL BEOL) 필요한 소자특성(스위치 특성 시간 특성 파워 특성 등)을 만족하기 위한 공정에서 구현해야하는 스펙입니다 3.2번에서 말씀드렸다시피 예를들자면 포토는 어느정도 간격(CD)로 해야되고 에치는 어느정도로 파야되고(수직으로) DEPO파트는 어느 두께로 쌓고 어느정도 비저항 특성이 나와야되고 CMP는 얼마나 단차를 잘 맞추는지 등등 4. 네 공정에서 구현하는 특성을 의미합니다 5. 모듈별 특성이 있는데,이는 제품별로 크게 다르고 세대별로 추가가 되기도 합니다 6.네 맞습니다(포토에치) 7.향상이라기보다 소자에서 요구하는 특성 스펙 기준을 제시하면 공정에서는 그 수준의 퍼포먼스를 낼 수 있는 공정을 구현하는 것이 MTS 확보입니다
*현직자 3만 명의 취업 정보가 실시간 업데이트됩니다.
2023.08.26
댓글 2
목
목구녕
작성자
2023.08.29
추가질문이 있습니다. 그러면 예를들어 Si기판을 화합물로 변경하는 것도 MTS 변경이라 하나요?
목
목구녕
작성자
2023.08.29
예를 들어 기존 Si 기판에 도핑하는것이 아닌 Si 기판에 SiC epi layer를 성장시키는 step을 추가하여 도핑을 진행하는 것은 MTS 변경이라 하나요?
D
Diversean삼성전자
코사원 ∙ 채택률 67% ∙
회사
일치
1. MTS 란 Module Target Spec 의 약자 입니다. 2. 공정을 진행하면서 맞춰야 하는 기준(spec) 을 뜻합니다. 3. Spec 을 맞추기 위한 Process scheme 또는 공정조건을 확보하라는 뜻 입니다. 4. 네 맞습니다. 만드는 제품의 목표치가 변하는 경우 MTS 를 좀 더 쉽게 (또는 어렵게) 바꾸는 경우가 있습니다. 5. 반도체 Process 는 여러 부분으로 쪼개져 있고 이를 module 이라 합니다. 각 모듈에서 맞추는 spec 을 의미합니다. 6,7. 넓은 의미로는 맞습니다. 반드시 성능을 향상시키는 과정이 아닐수도 있습니다
*현직자 3만 명의 취업 정보가 실시간 업데이트됩니다.
2023.08.30
AD
반도체
설계팀
대기업 반도체 산업으로 취업하기 위해선, 직관적 해석능력과 사고력이 필요합니다. 핵심 역량과 배운 지식을 취업에 활용하고 싶다면 국비지원 강의를 추천합니다.