직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. overdevelop과 etch skew 산포 관계
3가지 질문이 있습니다. 1. overdevelop이 되면 ACI CD가 줄어들고, 결국 etch skew의 산포가 예상보다 커지는 것이 맞나요? 2. dry와 wet etch에서 etch skew 값과 산포는 dry etch의 경우가 더 작아야 하는 것이 맞나요? (동일한 조건일 경우에) 3. dry etch에서 overdevelop이 진행되었다면, wet etch의 etch skew보다 dry의 경우가 더 크게 나올 수도 있나요? 답변해주시면 진심으로 감사드리겠습니다.
2023.09.09
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