직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. overdevelop과 etch skew 산포 관계

yy_min

3가지 질문이 있습니다. 1. overdevelop이 되면 ACI CD가 줄어들고, 결국 etch skew의 산포가 예상보다 커지는 것이 맞나요? 2. dry와 wet etch에서 etch skew 값과 산포는 dry etch의 경우가 더 작아야 하는 것이 맞나요? (동일한 조건일 경우에) 3. dry etch에서 overdevelop이 진행되었다면, wet etch의 etch skew보다 dry의 경우가 더 크게 나올 수도 있나요? 답변해주시면 진심으로 감사드리겠습니다.


2023.09.09

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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