기타 · 삼성전자 / 공정엔지니어

Q. PVD질문

PVD는 어느 공정에서 사용되나요 메탈? 그리고 왜 사용하나요? CVD기술팀은 있다고 들었는데

답변 4
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radish
코부사장 ∙ 채택률 77% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요

미세공정은 대부분 PVD로 진행됩니다.

물론 PVD로 진행되지만 CVD를 전혀사용하지 않는것은 아닙니다~~


l
lIIIIl
코사장 ∙ 채택률 79% ∙
회사 산업
일치

PVD는 메탈 기술팀에서 사용합니다
메탈 막질을 균일하게 데포하기 위해서 PVD를 활용하는 겁니다


기흥평택하드워커
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요.

PVD 타겟 쉴드로 타겟팅하는 증착 공법은 주로 메탈부서에서 사용합니다. 삼전만 유일하게 thin film과 metal을 분리 해놓습니다. 아무튼 금속배선 공정에서 해당 스텝 레이어에 금속을 대량 벌크 하기엔 생산성이 높기 때문에 Pvd를 주로 사용하고 ALD 도 사용하지만 주 설비는 PVD 입니다. 그리고 컨택 비아 부분은 CVd를 사용하는게 통상적입니다.


파일드
코이사 ∙ 채택률 71% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요

m기술팀에서 주로 메탈 배선 공정을 위해 사용됩니다. metal target을 이용해 sputtering 방식을 활용하여 배선을 증착하는 용도로 사용합니다.

감사합니다~


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