직무 · 삼성전자 / 공정관리

Q. 반도체 게이트 옥사이드 공정

취취뽀ㅎㅇㅌ

반도체 8대 공정 중에서 게이트 옥사이드를 형성하는 공정은 산화공정으로 알고 있습니다. high K 물질은 확산 대신에 CVD 또는 ALD로 한다고 들었는데 high-K로 게이트 옥사이드를 형성할 때는 D기술팀, T기술팀 중에서 어느 기술팀에서 하는 건가요?


2020.03.10

답변 1

  • l
    lIIIIl삼성전자
    코사장 ∙ 채택률 79% ∙
    회사
    일치

    High K 막질은 D기술팀에서 담당을 하고 있습니다 그중에서도 디퓨젼 파트에서 합니다 참고하세요

    2020.03.10


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