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Q. 반도체 공정/설비 엔지니어 레시피 최적화

라임콜라맛

파라미터 1 , 2, 3이 있으면 2,3 고정후 1만 변화시키다 문제없다고 판단시에 1,3고정 2변화 이런식으로 하게되나요? 아니면 Doe 방식을 활용하여 파라미터 변화시키게 되나요? 간단한 예시 들어서 설명해주시면 감사하겠습니다


2026.03.10

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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