대학생활 · 삼성전자 / 모든 직무

Q. 반도체 Etch에서 ADI CD-ACI CD

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mask CD(패터닝의 input)가 커질수록 ADI CD-ACI CD(etch bias)값이 커지는 이유 (즉, 더 큰 음수가 되는 이유)가 뭔지 궁금합니다.. 단순히 생각하면 mask CD가 작을수록 빛의 회절현상에 더 큰 영향을 받아서 etch bias가 커질 것 같은데 반대로 mask CD가 작을수록 etch bias는 작아지는 이유가 뭘까요?ㅠㅠ


2023.08.09

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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