1. 일반적으로 cvd팀에서는 스퍼터를 사용하지 않습니다. 스퍼터는 주로 thin film deposition에 사용되는 기술로, cvd팀에서는 다른 공정 기술을 사용합니다.
2. 스퍼터를 사용하는 팀은 주로 metal 팀 뿐만 아니라, 다른 팀에서도 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 반도체 제조 공정에서는 스퍼터가 필요한 경우가 많습니다. 따라서 cvd팀 외에도 다른 팀에서도 스퍼터를 사용할 수 있습니다.

1. 스퍼터는 pvd입니다.
2. 스퍼터는 metal쪽이 맞습니다.

안녕하세요. 특정 장비 및 공법 사용 여부는 대외비일수도 있으므로 답변 드리기는 어렵습니다.

1. 삼성전자의 CVD 팀은 non-metal의 박막을 다루고, metal 박막은 metal 팀에서 다룹니다.

2. metal 팀에서 스퍼터 사용 여부는 말씀드리기 어려우나, 현재 소자 단위에서 sputter는 공정을 만족하기 어렵습니다.