면접 · 삼성전자 / 모든 직무
Q. PR도포 시 spin coater의 rpm, 회전 시간을 높이면
PR도포할 때 spin coater의 rpm, 회전 시간을 높여서 생기는 문제점이 어떤게 있나요?
2021.06.26
답변 5
- 파파일드삼성전자코이사 ∙ 채택률 71% ∙일치회사
채택된 답변PR의 두께, 균일도 등의 문제가 있을 수 있습니다!
- 공공정설계현직3삼성전자코전무 ∙ 채택률 80% ∙일치회사채택된 답변
스핀코팅 RPM이 높아지면 PR이 얇아지죠. 두께가 너무 얇으면 Defect에 취약해질 수 밖에 없습니다. 또한 후속 PR 공정에서도 Develope 되어야 하는 부분이 안될 수도 있습니다
- llIIIIl삼성전자코사장 ∙ 채택률 79% ∙일치회사채택된 답변
THK는 Thickness 약자입니다 회전이 빠르면 PR의 두께가 얇아져서 패터닝이 원하는대로 안나올 수 있습니다 너무 느리면 두꺼워집니다
- 취취전업략삼성전자코상무 ∙ 채택률 81% ∙일치회사채택된 답변
너무 빠르면 균일하게 코팅되지않으며, 시간이 적절하지않으면 THK가 두껍거나 얇게 코팅 됩니다
쪼별삼성전자코부장 ∙ 채택률 97%안녕하세요. rpm, 회전시간을 높이면 균일도, 두께에 문제가 발생합니다. 따라서 최적의 레시피를 찾기 위해 최적화를 진행하게 됩니다.
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